רשימת בקרה מפורטת: תקנות השבבים ההולנדיות החדשות משפיעות על אילו דגמי DUV?

Tibco News, 30 ביוני, ממשלת הולנד פרסמה את התקנות העדכניות ביותר על בקרת ייצוא של ציוד מוליכים למחצה, חלק מהתקשורת פירשה זאת כשליטה בפוטוליתוגרפיה נגד סין שוב הסלימה לכל DUV.למעשה, תקנות בקרת יצוא חדשות אלו מכוונות לטכנולוגיות ייצור שבבים מתקדמות של 45 ננומטר ומטה, לרבות ציוד שיקוע אטומי ALD מתקדם, ציוד גידול אפיטקסיאלי, ציוד שיקוע פלזמה ומערכות ליטוגרפיה טבילה, כמו גם הטכנולוגיה, התוכנה המשמשת להשתמש ולפתח ציוד מתקדם שכזה.

בהצהרה ל-Tibco, ASML הדגישה כי תקנות בקרת היצוא החדשות של ממשלת הולנד מכסות רק חלק מדגמי ה-DUV העדכניים ביותר, כולל TWINSCAN NXT:2000i ומערכות ליטוגרפיה טבילה לאחר מכן.ליטוגרפיית EUV הוגבלה בעבר, והמשלוח של מערכות אחרות אינו נשלט על ידי ממשלת הולנד.על פי מידע האתר הרשמי של ASML, מערכת ליטוגרפיה טבילה DUV, כולל: TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di שלוש מכונת ליטוגרפיה, אלה יכולים לבצע עיבוד פרוסות של 38nm ~ 45nm.

 

בנוסף, מכונות ליטוגרפיה יבשות של DUV המסוגלות לעיבוד רקיק מעל 45nm, כגון תהליך 65nm~220nm, כגון TWINSCAN XT:400L, XT:1460K, NXT:870 וכו', אינן כלולות ברשימת הסנקציות ההולנדיות.

רשימת השליטה ההולנדית, כפי שתורגמה על ידי Tibco, היא כדלקמן:

תקנה MinBuza.2023.15246-27 שהונפקה על ידי שר סחר חוץ ושיתוף פעולה לפיתוח של הולנד קובעת דרישות רישוי ליצוא של ציוד ייצור מתקדם עבור מוליכים למחצה שלא הוזכרו קודם לכן בנספח I לתקנה מס' 2021/821 (הנוגעת למוליכים למחצה מתקדמים) ציוד ייצור)

סעיף 2: תקנה זו אוסרת על ייצוא של ציוד מתקדם לייצור מוליכים למחצה מהולנד ללא רשות השר.

סעיף 3:

1. הבקשה להיתר האמור בסעיף 2 תיעשה על ידי היצואן ותוגש לתובע.

2. בכל מקרה, הבקשה תכלול:

א) השם והכתובת של היצואן;

ב) שם וכתובת של הנמען ומשתמש הקצה של הציוד המתקדם לייצור מוליכים למחצה;

ג) שם וכתובת של הנמען ומשתמש הקצה של הציוד המתקדם לייצור מוליכים למחצה.

3, בכל מקרה, לתובע הזכות לבקש מהיצואן למסור את החוזה על היצוא, והצהרה על השימוש הסופי.

סעיף 4:

הרישיון המתואר בסעיף 2, עשוי להיות כפוף לתנאים והוראות.

מתן הרישיון המתואר בסעיף 2 יכול להתקיים עם כישורים.

מאמר V:

ניתן לשלול את הרישיונות הנזכרים בסעיף ב' במקרים הבאים:

א) הרישיון ניתן על סמך מידע שגוי או חלקי;

ב) התנאים, התנאים וההגבלות של הרישיון לא קוימו;

ג) מסיבות של מדיניות חוץ וביטחון לאומית.